4DVANTEST

ADVANTEST VPG CERTIFICATE
爱德万测试 VPG 证书

CALIBRATION CERTIFICATE NO:# CR2400039
校准证书编号：# CR2400039

Customer PO: IR#5600266201
客户 PO：IR#5600266201
DESCRIPTION:DIRECT PROBE VPG GAGE (V3, 5 Glasses, Stainless Backer)
描述：直接探头VPG量具 （V3， 5 Glasses， Stainless Backer）
P/N:# H7-8T0051 has been calibrated to the following:
P/N：# H7-8T0051 已校准为以下标准：

Spec: within 10um among location 1 4 (Max. - Min.)
规格：位置 1 4 之间 10um 以内 （最大 - 最小）
Unit: um 单位：um
Environment: ${21.7}^{\circ }\mathrm{C}48\mathrm{\%}\mathrm{RH}$${21.7}^{\circ }\mathrm{C}48\mathrm{\%}\mathrm{RH}$21.7^(@)Cquad48quad%RH21.7^{\circ} \mathrm{C} \quad 48 \quad \% \mathrm{RH} 环境： ${21.7}^{\circ }\mathrm{C}48\mathrm{\%}\mathrm{RH}$${21.7}^{\circ }\mathrm{C}48\mathrm{\%}\mathrm{RH}$21.7^(@)Cquad48quad%RH21.7^{\circ} \mathrm{C} \quad 48 \quad \% \mathrm{RH}
Item Note: 项目说明：
D: Distance D：距离
Location: 位置：

Procedure: 程序：

1. Measure the jig by CMM, To confirm Jig in SPEC.
   通过 CMM 测量夹具，以确认 SPEC 中的 Jig。
2. Install the VPG on the Jig.
   将 VPG 安装在夹具上。
3. Using point 5 as the standard, measure the height difference between the other 4 points and point 5 by CMM , expecting the 5 points to be coplanar (the measurement result is 0 ), take the absolute value of the maximum value minus the minimum value, SPEC is 10 um .
   以点 5 为标准，用 CMM 测量其他 4 个点与点 5 之间的高度差，期望这 5 个点共面（测量结果为 0），取最大值减去最小值的绝对值，SPEC 为 10 um。
   Note ‘For more information on the Visual Planarity Gauge please check TDC Topic 124054’
   注：'有关视觉平面度计的更多信息，请查看 TDC 主题 124054'