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验收测试记录 GEMINISEM 360

验收证书表
附录 内容
关于本验收测试记录 .....2
A. 系统.....的标识3
B. 预安装 + .....4
C. 整体系统 + .....4
D. 计算机.....5
E. 真空系统 .....6
F. 标本阶段。.....7
G. 探测器和视频系统.....8
小时，SEM 细丝.....9
J. 电子光学。.....10
K. 用户培训.....11
说明 验收测试程序 .....12
备注室 .....15
个签名。.....15

关于此验收测试记录

该文件详细记录了经过认证的 GEMINISEM 360 工作站的正确交付、安装和功能。
请注意，GEMINISEM 360 的指定参数是指在最佳环境条件下的基本仪器。气闸、EDX 系统和 EBSD 等选项的调整可能会影响某些参数。
请注意，GEMINISEM 360 的指定参数是指在最佳环境条件下的基本仪器。空气锁、EDX 系统和 EBSD 等选项的适配可能会影响某些参数。
所有放大指示均指 Polaroid 设置。
  • 标有此标志的条目在 解释验收测试 程序中进行了详细说明。
  • 标有叉号的段落中描述的测试/项目在工厂验收后不得执行/检查。
A. 系统标识
类型： GeminiSEM 360
序列号： 8217010257
选项
探测器 辅料
镜头内 闸
ESB 冷却阶段
硒 低温
AsB*/AsB4 光束下料机
CL EDX
VPSE EBSD
BSD1 / BSD4 WDX
aBSD1 / aBSD4 静音模式
VP BSD1 显微操作器
STEM / STEM4 激光探测器
aSTEM1 / aSTEM4 等离子清洗机
C2D 带原位清洗的 CCC
CCD 摄像头 CC 无需原位清洗
CCD 摄像头 Tandem Decel
导航相机
用品
冷水
压缩机

B. 预安装 +

B1 层 环境 仪表室对应规格 喿声

安装和功能测试

C. 整体系统 +

C1 布线
所有电缆和连接均已正确安装，
检查电源和保护导体
好的
C2型 运输锁
移除所有传输锁和指示器
安装
C3 系列 盒装模块 所有盒装模块均已正确安装
C4 系列
水冷
系统
检查水冷系统功能，
泄漏测试
C5 系列
压缩
空气/氮气
安装并检查压缩空气/氮气
C6 系列 通风 功能已检查
C7 系列 阻尼系统 阻尼系统调整正确

D. 计算机

操作系统：。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。SmartSEM 版本：.....7.05...第 3 页
第一天 驱动器
TIFF 格式的图像可以保存在硬
磁盘并重新加载而不会丢失信息
D2
网络
（如果已安装）
通过网络无差错传输 TIFF 文件
检查
D3 监控
亮度和对比度通过以下方式调整
'Grey Wedge' （注释）：黑色好
白电平和最佳灰度色散
获得
D4 软件/固件 已使用系统检查器检查设置是否正确
D5* 操作系统
操作系统启动无错误，
智能扫描系统 已安装软件
完全（备份），所有软件许可证
根据客户的订单交付

E. 真空系统

E1 系列 系统真空
系统真空（样品室真空）
至少 12 小时不间断检查后检查
抽送样品室（无
标本）
所需值：小于
值 （mbar）
तण
E2 系列 喷枪真空
检查喷枪真空（UHV 腔室真空）
在 UHV 腔室烘烤至少
12 小时;枪打开，EHT 关闭
所需值：小于
值 （mbar）
E3 系列
VP 模式
（可选）
腔室真空度可以连续变化：
5 至 30 Pa 之间，无 Beamsleeve
跟 Beamsleeve 孔径：
Nano VP 模式下 5 至 150 Pa 之间
XVP 模式下 5 至 500 Pa 之间
跟 Beamsleeve 孔径：
Nano VP 模式下 5 至 40 Pa
XVP 模式下 5 至 150 Pa 之间
在高真空和 VP 模式之间切换
是正确的
E4 系列
闸
（可选）
气锁功能和试样的正确驱动
检查 Stage 到 Exchange 位置
E5 系列 泵送时间
直到 SEM“Vac Status=Ready”的泵送时间
确定：最长 5：30 分钟
确定
时间
通过 Airlock：
抽气时间是指单个过程
加载或卸载
室：
200 mm 气闸
所需值：最大 45 秒
气闸：LA
80 mm 气闸
所需值：最大 40 秒
E6 系列
静音模式
（可选）
预真空泵是否打开和关闭
介于预真空计阈值之间
（VAC 测试程序）
为
E7 系列
等离子清洗机
（可选）
执行配方 “Quick sample clean” 注 4

F. 标本阶段

F1 系列 初始化
载物台移动到限位开关并定位
位于 市中心 和 初始化后的轴
F2 系列
控制面板/
操纵杆
所有电动轴都可以通过控制器进行控制
面板/操纵杆
放大补偿和
可以进行力/挠度补偿
F3 系列 触摸闹钟
触摸闹钟工作;触摸时 stage 停止
闹钟启动或按下 “BREAK”
F4 系列
火花警报
（可选 Tandem
减速）
火花警报有效;Spark 时 stage 停止
alarm 已启动或（可选）“BREAK” 为
压。（见 SI FESEM 327，第 10 页）
*自
F5 系列
存储
坐标
可以存储所有电动轴的坐标
与放大和工作一起
距离
可以重新访问存储的坐标
F6 系列
定心功能
（可选许可证）
期权中心点、连续中心点
并选中中心特征
F7 系列 载物台漂移
检查的载物台漂移：
6 分钟后载物台漂移小于 40 nm
31.1 纳米
X 和 Y 方向
F8* 重复性
样品台的可重复性（零倾斜）
选中（X - 和 Y -drive） 优于

G. 探测器和视频系统

G1 镜头内检测器 检查镜头内检测器的功能
G2 系列
EsB 检测器
（如果已送达）
EsB 功能演示
检测器：电网电压从 0 V 增加到
1500 伏 .如果图像变暗，请增强
反差
(4)
G3 系列 SE 探测器
检查 SE 检测器的功能;修改
集电极电压会导致
信号强度
G4 系列
AsB/AsB4
探测器
（如果已送达）
检查 AsB/AsB4 检测器的功能
（请参阅 BSD 检测器）
G5 系列
CL 探测器
（如果已送达）
检查 CL 检测器的功能 一个
G6 系列
VPSE 检测器
（如果已送达）
在 VP 模式下检查功能，信号强度
随 VP 压力而变化。
信号强度随集电极电压的变化
变化。
低于 290 V 集电极时无电弧。
（AA
七国集团
BSD1/BSD4
aBSD1/aBSD4
探测器
（如果已送达）
BSD 功能演示
探测器。
地形对比之间的切换
（TOPO） 和材料对比度 （COMPO） 必须
被选中。
八国集团
VP BSD 1
（如果已送达）
Beamsleeve VP BSD 探测器的功能
已检查，可成像，集电极电压
正在工作（图像越来越亮）
九年级
STEM/STEM4
aSTEM1/aSTEM4
探测器
（如果已送达）
检查STEM探测器的功能，DF和BF
可进行成像
一个
10 年级 CCD 系列 检查 CCD 摄像机的功能
11 年级
（如果已送达）
检查 CCD 摄像机的功能
12 年级 混合
可以混合两种不同的探测器信号
介于 0 和 100% 之间
13 年级 噪
通过使用提高信噪比
不同的扫描速率和帧/行平均值
检查
13 年级
内部标本
电流监视器
内部试样电流监视器的功能
检查

H. SEM 细丝

提示序列号：.........2654.26
灯丝加热电流 Fil I（数据表 1800K）：.......3.一.....A （SmartSEM ): ........3...........A

总电流 （数据表）：.................

提取器电压 （数据表）：.......................V （SmartSEM ): .......3.0.0.........V
总电流 （数据表）：............................
最大电流模式下的提取器电压 （SmartSEM ): .
提取器电流 Iokv 智能扫描系统 在 : ....（3.3........ \mu A
提取电流 智能扫描系统 ） 在
好的
H1* 样品电流
样品电流测量方式
加速电压 10 kV 时的法拉第杯 ，
中心孔径和 WD 2 毫米;使用光圈
校准面板关闭冷凝器。
冷凝器关闭时所需值：
枪模式 : 110-115 年
枪模式 : 百分之一

J. 电子光学

J1 型 光束偏移 手动光束偏移 和
J2 扫描旋转
SEM 图像可以电子旋转。
（ 0 到 )
J3*
动态
对焦/倾斜角度
校正
动态对焦和倾斜角度的功能
检查倾斜试样的校正
J4* 污名
在加速电压下校正柱痕
孔径， 无大电流，
工作距离 2 毫米
样本：碳基金
所需值：最大值
Stigmator 值
（%）
Stigmator 值
（%）
J5*
测量
功能
可进行实时和存储的测量功能
图像;
J6 系列 光束消隐 消隐电子束检查
J7 系列 商店解析 已选中切换到不同的商店分辨率
J8 系列 扫描模式
不同的扫描模式（分屏、Dual Mag、
四元模式 （Quad Mode）、缩减栅格 （Reduced Raster））选中所有
存储分辨率
J9*
分辨率
低 kV
以至少 300 kX 拍摄的分辨率图像
带 1 kV 透镜内检测器
1.2 纳米
J10*
Tandem Decel
（如果已安装）
已检查样品偏置功能 一个
J11*
分辨率
高 kV
以最小 500 kX 拍摄的分辨率图像
带 15 kV 的镜头内检测器
a. 7 纳米
J12 系列
负责
补偿器
（如果已安装）
加载非导电试样（例如，一块
论文）
插入电荷补偿器
选择镜头内检测器，
CC 压力： 和
系统真空度更改为 6-7e-3 mBar@
，枪真空度不会低于
检查 5 e-9 mBar 功能
J13 系列
色谱柱/孔径
调整
色谱柱和多孔孔径调整
检查
J14*
最大电流
达到
（与版本相关） 测量单位
分析枪模式

K. 用户培训 +

用户培训应为客户提供有关 GEMINISEM 360 工作站的基本信息，并使他/她能够操作 GEMINISEM 360 并执行基本应用程序。在检查 GEMINISEM 360 的性能参数时，可以完成部分用户培训。
以下用户参加了培训：

说明 验收测试程序

  • 标有叉号的段落中描述的测试/项目在工厂验收后不得执行/检查。
D5 操作系统/软件/固件
检查 Windows 无错误启动 以及 SmartSEM 的完整安装 软件。应备份所有重要的系统文件，例如 em server.accdb、L500.ini、CalibSC.dat 和 license 文件。建议备份所有重要的 Windows 文件。已安装的软件和固件版本将使用 System Checker 进行记录。
以及 SmartSEM 软件的完整安装。应备份所有重要的系统文件，如 em server.accdb、L500.ini、CalibSC.dat 和许可证文件。建议备份所有重要的 Windows 文件。已安装的软件和固件版本将通过系统检查器进行记录。
F7 载物台漂移
使用 Carl Zeiss 显微镜支持工具系列中包含的 Driftlog 测试程序。
F8 重复性 通过宏 KompassKlein 检查样品台的重复性。至少 的 16 个标记（即 14 个标记）应位于半径为指定重复精度的圆圈内。相应的宏包含在目录 'SUPPORT' 中。小心不要让样品和/或探测器被移动的载物台碰到。
H1 样品电流
A 法拉第杯将用于测量样品电流。在 10 kV、中心孔径、WD 2 mm 下调整电子束（孔径对准、摆动）后，将设置放大倍率，以便将整个电子束聚焦在法拉第杯的孔口或使用点模式。冷凝器必须关闭
J1 光束偏移
手动光束偏移测试将在 20 kV 和 8.5 mm 的工作距离下进行。总偏移 和 direction 应为 在这些操作条件下。
J3 动态对焦/倾斜角度校正 动态对焦和倾斜角度校正的检查应使用 网 格。为此，网格将倾斜到 appr。 通过试样台。测试将在 10 kV 下进行，正常模式，中心孔径，WD appr。10 mm 和放大倍率5000 倍 .首先，通过滑块小缩小扫描，在屏幕中央调整最佳焦点。然后，缩小的扫描将移动到屏幕的上端或下端。激活动态对焦后，图像将通过滑块（FCF 设置）以 10 或更高的扫描速率在缩小的扫描中进行优化。然后，完整的图像将存储在具有这些设置的图像存储中。如果要将动态焦点与倾斜角度校正相结合，则场 Tilt Corrn.将被激活，并且舞台的倾斜角度将通过滑动控制器 Tilt Angle 输入。倾斜方向必须始终与扫描方向平行。
J4 柱头
首先，在正常模式下，使用碳底金试样以 2 mm 的工作距离、50 kX 的放大倍率和 10 kV 的加速电压（摇摆）调整中心孔径。为了获得最佳图像，X 和 Y 的柱头值不应校正超过此 、添加用户和数据库值（请参阅表编辑器）。将记录设置的值。
J5 测量功能
测量功能的控制是通过 网 格。在放大倍率为 15 kX、加速电压为 10 kV、工作距离为 5 mm 和带中心孔径的正常模式下，图像的最佳调整是完成的。通过垂直测量光标在 5 个网格距离上完成测量，同时 STEM / BSD 探测器完全缩回。测量值的差异不应大于 从原始距离 .
J9/ SEM：分辨率低kV/分辨率高kV
J11分辨率是使用金碳样本345766-0000-200和蔡司软件'PATE 5.2.0'确定的，该软件基于所谓的边缘分辨率标准。
GeminiSEM 360 工作站的分辨率值如下：
最大探头电流 EHT 分辨率
20 纳安 1 千伏
20 纳安
1 千伏
使用 Tandem 着陆能源
Decel 选项
20 纳安 15 kV
100 纳安 1 千伏
100 纳安
1 千伏
使用 Tandem 着陆能源
Decel 选项
100 纳安 15 kV
#1 在最佳工作距离 （ ），放大倍数为
使用 Tandem Decel 时，使用 5KV 的 Tandem Decel 和 EsB 探测器
#2 的最佳工作距离 放大倍数为
使用中心光圈执行 在 High resolution Gun （高分辨率枪械） 模式下。
根据环境条件，这些图像的质量应与最终测试中拍摄并存储在硬盘上的图像质量相当。
设置：EHT 1 KV，WD 3，EsB 探测器，Stage Bias 模式 3 kV。
EHT 必须增加到 4 kV 才能保持 1 kV 的着陆能量。
启用“Stage Bias”（舞台偏移）后，图像会更亮（需要较少的对比度），显示更多细节和更少的图像杂色。
J14 只有在使用分析枪模式（最大探头电流模式）增加提取器电压时才能达到
最大指定探头电流

备注空间

'

签名

地方。。。。东南大学 .....日期。。。。。。。。。。。。。。22
签名服务工程师：Signature/s 客户：.....

生效日期：2020 年 12 月